Plasmaverfahren spielen in der industriellen
Fertigung eine zunehmend größere Rolle. Oberflächenbehandlungen
wie reinigen, Härten und Be- und Entschichten sowie Materialveredlungen
wie z.B. Nanoskalierung aber auch die plasmatechnische Abfallbehandlung
sind nur einige wichtige Einsatzgebiete.
In dieser Veranstaltung liegt der Schwerpunkt zunächst
auf dem Verständnis der Plasmaquellen. Es werden Gleichstromquellen,
gepulste Quellen sowie induktiv und dieelektrisch (Mikrowellenquellen)
beheizte Plasmageneratoren behandelt. Die erforderlichen Grundlagen
werden erarbeitet, und auf die Einsatzpotentiale wird anhand
von Anwendungsbeispielen hingewiesen. Den Teilnehmerinnen
und Teilnehmern wird Gelegenheit gegeben, die unterschiedlichen
Plasmaquellen im Betrieb kennenzulernen.
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