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Universität Stuttgart

Plasmaverfahren für industrielle Prozesse

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Plasmaverfahren für industrielle Prozesse - Sommersemester 2010
Dozenten

Dr.-Ing. Georg Herdrich
Dr. Matthias Müller
Dr. Jürgen Steinwandel
Dipl.-Ing. Thomas Ullmann

Zeit & Ort Mo. 08:00-09:30 Uhr, V31.51
Umfang 2 SWS Vorlesung
Bemerkung Wahlfach

 

Vorlesungsinhalt
Plasmaverfahren spielen in der industriellen Fertigung eine zunehmend größere Rolle. Oberflächenbehandlungen wie reinigen, Härten und Be- und Entschichten sowie Materialveredlungen wie z.B. Nanoskalierung aber auch die plasmatechnische Abfallbehandlung sind nur einige wichtige Einsatzgebiete.
In dieser Veranstaltung liegt der Schwerpunkt zunächst auf dem Verständnis der Plasmaquellen. Es werden Gleichstromquellen, gepulste Quellen sowie induktiv und dieelektrisch (Mikrowellenquellen) beheizte Plasmageneratoren behandelt. Die erforderlichen Grundlagen werden erarbeitet, und auf die Einsatzpotentiale wird anhand von Anwendungsbeispielen hingewiesen. Den Teilnehmerinnen und Teilnehmern wird Gelegenheit gegeben, die unterschiedlichen Plasmaquellen im Betrieb kennenzulernen.

 

Vorlesungsplan
19.04 Dr.-Ing. Herdrich Einführung / Grundlagen IRS
26.04 Dr.-Ing. Herdrich Einführung / Grundlagen IRS
03.05 Dr.-Ing. Herdrich TLG/MPG Grundlagen IRS
10.05 Dr.-Ing. Herdrich Grundlagen induktive u. Mikrowellen PG IRS
17.05 Dipl.-Ing. Lau Gepulste Plasmageneratoren IRS
24.05 Pfingstmontag    
31.05 MSc. Majid Plasma-Particle Interaction (Englisch) IRS
07.06      
14.06 Dr. Müller Anwendungen IPGs Bosch Stuttgart
21.06 Dipl.-Ing. Ullmann DC Plasmaverfahren DLR
28.06 Dr. Steinwandel Mikrowellen PG EADS Ottobrunn
05.07 Dr. Steinwandel Mikrowellen PG und Barriereentladungen EADS Ottobrunn
12.07 Dr. Steinwandel Barriereentladungen und Laserprozesse EADS Ottobrunn

 

Materialien & Literatur
  • Vorlesungsskripte sind für Studierende via WWW erhältlich. Benutzername und Kennwort können in der Vorlesung bei den Dozenten erfragt werden.